一，吸附法。
该尾气处理技术主要是将物理吸附手段应用到尾气处理中，借助吸附能力强的固体吸附剂对尾气中的污染物进行吸附，促使尾气污染得到有效净化。在这些物质中，活性炭、硅胶等都是常用的固体吸附材料。
据悉，该工艺不需要复杂的设备，操作管理难度较小，能有效地净化各种类型的工业废气，在现阶段的工业废气处理中得到了广泛的应用。但是，值得注意的是，这种工艺操作成本高，投资大，需要及时更换填料，否则会降低净化效果，甚至会出现二次污染问题。
二，吸收作用。
吸附法是利用化学手段，在特殊化学药剂的支持下，吸收和溶解工业废气中的污染物，然后将具有不同物理性质的污染物从吸附剂中分离出来，统一进行科学处理，达到净化工业废气的目的。实际应用结果表明，如果污染物浓度高、气压低和烟气温度低，可采用该工艺对工业废气进行治理。但是，由于它难以有效地回收处理过的吸收剂，使得这种处理技术的应用范围大大缩小。
三，催化燃烧技术。
在工业废气中产生了许多污染物，其主要原因是工业原料燃烧不足。而且催化燃烧法采用了特殊的催化剂，可以更充分地燃烧废气，消掉有毒有害物质，避免对大气环境的污染。该工艺由于污染物难以有效回收利用，经济效益不高。
四，生物学方法。
当工业废气中含有有机污染物且具有一定的可生化性时，可采用生物法处理。与常规处理工艺相比，生物脱臭工艺具有较大的优势，不需要复杂的设备和较高的投资成本，不会产生二次污染问题。但是值得注意的是，废气浓度较低，污染物质也能被生物降解，方可采用这种处理方法。
五，光分解过程。
光分解法是利用催化剂，如TiO2，经过光照，就会产生电子，分解空气中形成OH离子，进而发挥处理介质的分解还原功能。结果表明，光解方法能有效地分解有毒有害污染物，并对废气进行净化。实际应用中，利用特定波长的光，可以直接照射污染气体，使污染物具有光解作用。